無塵室的條件

無塵室是使用一個空間，使空間內塵粒的產生與保留最小化，並且控制其空氣傳播之塵粒的濃度、壓力、溫度及溼度。為了避免空氣由周圍區域進入無塵室，相對於這些區域，無塵室需維持正壓，可以供給許多空氣至無塵室，而抽走較少的空氣來達成。一般而言，無塵室內的溫度控制在23±2℃；相對溼度40%±5%。

無塵室的空氣必須由外界供給，經風扇傳輸至風管與各種濾網，到達天花板上方後，在經過高效率濾網，由出風口送出，以有效的去除塵粒。此外，還要使用鏤空的高架地板，以便將塵粒帶離無塵室，避免其滯留或在無塵室內循環，以達到高度的潔淨度要求。

無塵室的分級

無塵室的分級以塵粒的密度(單位體積內的塵粒數目)為基礎。依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級

左表：無塵室清潔度的定義

N/A：not applicable

無法考慮或無法測量

如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5μm，例如，1級、10級、100級無塵室最大塵粒數目分別小於或等於1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5μm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下，密度不大於75顆/立方英呎)，1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大於35顆/立方英呎)。而積體電路製造所需的無塵室的潔淨度必須優於1000級。

人員穿著規定

為保持無塵室的潔淨度，進出的人員有一定的穿著規定。

10000與100000級，必須穿著長袍潔淨衣、無塵鞋、帶帽子與面罩。

1000級(含)以上，需穿著特殊的潔淨連身衣、無塵鞋將全身裹住，並帶上手套和面罩。